-Una/dues portes
El marc i la cambra estan fets d'acer inoxidable al carboni.
Cada porta proporciona una finestra d'inspecció per al control visual del procés.Les parets de la porta proporcionen un revestiment d'acer inoxidable que es pot treure fàcilment per al manteniment.
-Camera de buit personalitzada
La cambra proporciona revestiments interiors d'acer inoxidable que s'eliminen fàcilment per netejar-los.
Les bombes es troben a la seva part posterior.
La cambra té una sèrie de petites brides amb la finalitat de mesurar.
-Sistema de bombeig d'alt buit
Bomba de difusió + bomba booster + bomba mecànica
-Mesura i control del buit
Amb calibre Pirani metàl·lic+indicador d'ionització metàl·lica
-Sistema de moviment d'accessoris
-Unitat de control PLC
-Sistema d'evaporació d'alumini amb transformador d'alta potència
- Estructura de ferro
L'estructura és raonable
La capa de pel·lícula és uniforme
Qualitat de formació de pel·lícules
Alta velocitat de bombeig, cicle de treball curt i alta eficiència de producció
El funcionament és convenient
Baix consum d'energia i rendiment estable
Número de model | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Hi ha disponible el model de dues portes o de dues cambres | |
Dimensió de la cambra de buit (diàmetre * alçada) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Material de la cambra de buit | Acer al carboni, SUS304 o SUS316L | ||||||
Tecnologia de treball | evaporació de resistència al buit amb filaments de tungstè i alumini, transformador d'evaporació d'alta potència | ||||||
Sistema de bombeig | Bomba de difusió + bombes mecàniques, bomba de reforç | ||||||
Temps de bombeig | De l'atmosfera a 5,0 * 10-2Pa menys de 8 minuts | ||||||
Límit de buit | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Temperatura de treball | Temperatura ambient | ||||||
Mode de treball | Mode automàtic o manual, per 10,4 polzades PLC toca la pantalla | ||||||
Potència total | 40-80 kW | 70-140 kW | |||||
Petjada | 2*2 metres | 2*3 metres | 3*3 metres | 3*3 metres | 3*4 metres | 4*5 metres | 5*6 metres |
Aquestes unitats les podeu fer a mida | 1. Mida de la cambra de buit 2. Configuracions de bombes | ||||||
Instruments opcionals | 1. Detector de fuites 3. Sistema de deposició d'ions d'arc 4. Sistema de pulverització Magntron |