Mirall d'alumini en línia de Magnetron Sputtering Line
Descripció breu:
La línia de pulverització de Magnetron en línia de mirall d'alumini està dissenyada per a una gran producció de miralls de vidre.Per revestir un vidre més gran i tenir cura dels panells de vidre fràgils, especialment per a les làmines de gran mida, normalment fem una línia de pulverització horitzontal.Es tracta d'una línia de recobriment de magnetró contínua, amb la cambra de bombament rugosa davantera i posterior, i després de la cambra de transició, abans i després de la cambra de bombeig fina, una cambra tampó, una sala de color.
Disseny de l'objectiu: càtodes cilíndrics de magnetró o/i càtodes planars.
Font d'alimentació: font d'alimentació amb polsador magnètic DC o MF d'alta potència
Sistema d'accionament: accionament de rodets, regulable en freqüència, sistema d'obertura de la porta de l'habitació tipus inducció.
Sistema de buit: bomba de difusió (o bomba turbomolecular) + bomba d'arrels + bomba mecànica
La línia de pulverització de Magnetron en línia de mirall d'alumini sol inclou múltiples cambres de buit per completar el recobriment al buit de les làmines de vidre.
Principals característiques:
1.Max.mida del recobriment de vidre: 2440x3660mm o personalitzat
2. Hi ha disponibles càmeres de buit múltiple i un disseny de cambra de cambra múltiple
3. La línia de control magnètic horitzontal té una estructura d'un extrem i doble;La neteja doble de vidre, el recobriment, la detecció, la pintura, l'assecat i el refredament es poden acabar tot alhora
4. La línia de recobriment de pulverització utilitza PLC per al control de tot el procés i està equipada amb una pantalla de color per mostrar les dades del procés de recobriment
Capa de recobriments: titani, crom, acer inoxidable, alumini, plata, coure, etc.
Compost: TiN, TiO2, etc.
Gruix de la capa: 5-100 nm
Transmissió: 8-40% a longituds d'ona de 380-780 nm
Temperatura de deposició: temperatura ambient
Pressió màxima després de 8 h de bombeig:
Cambra de bloqueig d'entrada i cambra de bloqueig de buit: 5 × 10-1 Pa o inferior
Cambra tampó 1: 3 × 10-3 Pa o inferior
Cambra de pulverització: 2 × 10-3 Pa o inferior
Cambra tampó 2: 3 × 10-3 Pa o inferior
Cambra de bloqueig de sortida i cambra de bloqueig de buit: 5 × 10-1 Pa o inferior